Rustfrit stål: Rustfrit stål er et af de mest almindeligt anvendte materialer til fremstilling af de fleste vakuumpumper, som har høj korrosionsbestandighed, korrosionstolerance og bioinerthed. På grund af deres fremragende materialeegenskaber tilbyder rustfri stålvakuumpumper overlegen holdbarhed og lang levetid. Desuden kan rustfrit stål fungere ved relativt høje temperaturer, hvilket gør det velegnet til en lang række miljøer.
Aluminiumslegering: Aluminiumslegering er et letvægtsmateriale, der er meget udbredt til fremstilling af præcisionsinstrumenter. Vakuumpumper af aluminiumslegering tilbyder fremragende holdbarhed, høj styrke og stivhed; men på grund af dens relativt ringe korrosionsbestandighed kan den ikke bruges til at pumpe ætsende gasser.
Gummi materialer
Fluorcarbongummi: Fluorcarbongummi er et almindeligt anvendt gummimateriale til fremstilling af vakuumpumper, som har fremragende oxidationsmodstand, syre- og alkaliresistens og slidstyrke. Fluorcarbongummi kan også modstå en lang række temperaturudsving uden at miste sin elasticitet på grund af temperaturændringer.
Polytetrafluorethylen (PTFE): Polytetrafluorethylen er et meget almindeligt materiale, der er meget udbredt i forskellige applikationer. Som materiale til vakuumpumper udviser det god syre- og alkalibestandighed, slidstyrke og ikke-klæbende egenskaber.
Keramiske materialer
Keramiske materialer er et andet almindeligt materiale, der bruges i vakuumpumper. De har fremragende korrosionsbestandighed, høj styrke og høj temperaturbestandighed. På grund af deres unikke materialeegenskaber bruges keramiske vakuumpumper i vid udstrækning i højteknologiske industrier som f.eks. halvlederfremstilling, elektroniske komponenter og solceller.
